一种带摆动机构的线锯床的设计

摘要：

由于线锯切割具有切片薄、表面翘曲变形小、厚薄均匀和切口损失小等优点,被广泛用于单晶硅切片加工.本文介绍了单晶硅切片加工的常用设备及其特点,分析了主要影响因素,设计了一种带摆动机构的线锯床.该摆动机构由伺服电机驱动并自动控制,与传统线锯床相比,其锯丝可绕其中点转动,加工圆形工件时,能保持锯丝与工件的接触长度最短或不变.本文还指出了该锯床制造中的几点工艺问题.

关键词：单晶硅、切片、线锯床

分类号：TH511

资助基金：国家自然科学基金50475132

在线出版日期：2006-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-66,70