基于压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的二维微动工作台系统及控制方法的研究

摘要：

介绍了基于PZT驱动的二维微动工作台,该微动台采用双柔性平行四连杆结构.用ANSYS对其进行有限元分析,使用自制的电容位移传感器进行位移检测,采用前馈与模糊控制相结合的复合控制方法对系统进行控制,结果表明:该控制方法既具有开环控制的稳定性,又具有闭环控制高精度的特点.实验证明了该方法的有效性.

关键词：PZT、微动工作台、柔性铰链、前馈、模糊控制

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划50135040;69774020

在线出版日期：2006-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-12,49