三坐标精密运动平台的设计

摘要：

在超精密切削、磨削、特种加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点.本文以三维结构的超精密加工为对象,进行了适合超精密三维结构特种加工运动平台的设计,实现了较大行程的三维精密运动.该精密运动平台也是研制超精密加工机床的基础.

关键词：超精密、工件台、运动控制、纳米

分类号：TH16

资助基金：科技部科研项目2003CB716204

在线出版日期：2006-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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