应用在惯性约束核聚变系统中的压电陶瓷微机械手的设计

摘要：

研制了应用在惯性约束核聚变装配系统中的压电陶瓷微机械手,并对压电陶瓷的驱动电路,计算机控制的硬件及软件系统设计,以及系统的标定方法等进行了详细的叙述.该机械手应用于惯性约束核聚变装配系统靶标的位置调整中,实验证明其位置误差小于1μm.

关键词：微机械手、压电陶瓷、驱动电源、标定

分类号：TP241(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA84ts05

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13