超精密机床数控伺服系统及其控制机理

摘要：

介绍了一种超精密机床的数控伺服系统,分析了其硬件构成和各重要模块的特点,采用其装配的机床具备了加工大型光学零件的超精密定位和位置跟踪能力.并讨论了数控伺服系统所采用的先进双闭环控制理论,表明了其不仅具有高精度的位置控制功能,而且还有极高的稳定性和易调试性.

关键词：超精密机床、CNC系统、伺服控制、双闭环

分类号：TG659.39

在线出版日期：2005-03-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-28,11