精密合成碳膜电位器电阻体修刻误差分析及补偿

摘要：

结合精密合成碳膜电位器电阻体修刻机的研发,在给出合成碳膜电位器修刻系统的组成及修刻原理的基础上,从硬件和软件等方面分析了系统内影响修刻精度的各种因素,并提出了相应的误差补偿方法.文章最后给出了误差补偿的效果.

关键词：合成碳膜电位器、误差分析、误差补偿

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-06-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：115-117,136