微机器人关键技术及应用

摘要：

微机器人是微机电系统(MEMS)的重要分支,是微机电系统发展的高级形式.本文阐述了微机器人的关键技术;从微机器人关键技术这个新角度介绍了它的应用;最后指出了微机器人发展中尚待解决的问题,并对其发展提出了若干建议.

关键词：微机器人、微执行器技术、检测技术、能源供给、控制技术

分类号：TP242.6(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金69774020;高等学校博士学科点专项科研项目98014106

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3-6,20