聚氨酯电子抛光垫材料的组成及形态结构研究

摘要：

选取了两种用于化学机械抛光的聚氨酯抛光垫,通过红外光谱、差示扫描量热分析(DSC)、热重分析(TGA)及扫描电子显微镜(SEM)等手段研究了两者在组成及形态结构上的区别.结果表明,与国产抛光垫不同,日本产抛光垫在酯醚共聚聚氨酯基体的基础上还添加有氧化锆粒子,并且日本产抛光垫的规整性更好,孔洞尺寸更加均一,研究结果对我国电子抛光产业的发展具有重要意义.

关键词：化学机械抛光法、聚氨酯、抛光垫、化学组成

所属期刊栏目：34

分类号：TQ323.8

资助基金：辽宁省自然科学基金项目 20180550464 ,辽宁省"兴辽英才计划"青年拔尖人才资助项目 XLYC1807007 ,江苏省淮安市"淮上英才计划"创新创业领军人才项目

在线出版日期：2019-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：9-12