基于90 nm CMOS毫米波共面波导建模

摘要：

硅基共面波导(CPW)是毫米波集成电路设计的基础元件之一，阐述了硅基共面波导(CPW)的机理和等效电路模型的设计方法，建立了基于硅衬底的标准90 nm CMOS工艺的毫米波CPW
模型和参数提取算法，通过仿真和实测数据对比发现，模型在0～66 GHz内有效．

关键词：毫米波、共面波导、模型、CMOS

所属期刊栏目：36

分类号：TN432(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金61331006

在线出版日期：2017-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4