电解法制备三氟化氮粗气成分的快速分析

摘要：

在对电解法制三氟化氮(NF3)的粗气采样检测中,采用负压式自动采样装置并选用合适的干燥器采样,避免了用双联球采样方式中双联球被腐蚀而堵塞的缺陷.实验结果表明,采用负压式采样检测可有效提高采样效率和分析结果的准确性,且分析结果重复性良好,适用于电解法制备NF3电解槽粗气的快速取样分析.

关键词：三氟化氮粗气、负压式自动采样装置、快速取样

所属期刊栏目：18

分类号：TQ124.3

在线出版日期：2020-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：67-70