电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF3中金属杂质

摘要：

采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定了吸收液的金属杂质含量.结果表明:该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09％,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10-9.

关键词：电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)、NF3、金属杂质

所属期刊栏目：16

分类号：TQ124.3

在线出版日期：2018-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：86-89