电子级过氧化氢水溶液制备技术进展

摘要：

简要介绍了电子工业用高纯过氧化氢水溶液的应用、现状和杂质来源.综述了通过吸附、离子交换、膜分离、精馏、萃取和结晶等单一单元操作纯化制备高纯过氧化氢水溶液技术,并进行优劣势比较.指出当前高纯过氧化氢水溶液制备技术的发展趋势是单元操作集成,重点介绍了使用较为广泛的“吸附-离子交换-膜分离单元操作集成技术”制备高纯过氧化氢水溶液的工艺.

关键词：电子级过氧化氢、制备、纯化、集成技术

所属期刊栏目：15

分类号：TQ123.6

在线出版日期：2017-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45