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可转让的新技术新产品

引用
@@·紫外光表面清洗机 该专利技术是利用光子对有机化合物的光敏氧化作用,达到去除粘附在材料表面上的有机物质。经过光清洗后的材料表面可以达到”原子清洁度”。光清洗的应用范围十分广泛,可用于液晶显示器、半导体和半导体器件、集成电路、光学镀膜、敷铜箔层压板等生产过程中各种表面的清洁处理。

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TQ6;TL5

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1006-3013

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2001,(3)

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