金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜

摘要：

对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍,并对它们的应用前景作了展望.

关键词：金属β-二酮化合物、金属有机化学气相沉积、铁电薄膜

所属期刊栏目：14

分类号：O614(无机化学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划;国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：61-67