银辅助刻蚀单晶硅

摘要：

结合高中化学原电池、氧化还原反应以及银镜反应等知识,介绍两种沉积银粒子辅助刻蚀单晶硅技术的基本原理,供一线高中化学教师用于扩展高中生的化学知识,帮助学生了解化学前沿.

关键词：高中化学、单晶硅、银辅助刻蚀、物理沉积、化学沉积

所属期刊栏目：35

分类号：G6 ;TU5

资助基金：国家级精品资源共享课程建设项目102-135003;北京市精品课程建设项目102-105815;北京师范大学教学建设与改革项目12-07-05

在线出版日期：2014-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8