电脑芯片中的化学

摘要：

针对电脑芯片的制造涉及到许多化学反应,介绍了单晶硅晶片的制备、外延、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等化学反应过程.

关键词：芯片、集成电路、化学

所属期刊栏目：28

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2007-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7