新型多晶硅还原炉底盘流动与传热的数值模拟

摘要：

多晶硅还原炉的底盘取热结构对降低能耗有很大影响,提出了一种新型的多晶硅还原炉底盘均匀取热结构,并就其温度均匀性、冷却效果与传统底盘结构进行比较.该新型底盘结构由中间隔板分为2层,并在隔板上安装电极位置的孔周围焊接竖直环隙.冷却水由隔板下层的冷却水进口进入底盘并流经各电极周围的环隙进入隔板上层的还原炉底盘上底板实现均匀取热.与传统多晶硅还原炉底盘结构相比,该结构克服了传统结构下底盘取热不均匀的问题.就新型底盘取热结构中的单棒环隙结构进行模拟优化.重点考察环隙上焊接挡板的厚度、宽度及数量对冷却效果的影响.300 K的冷却水做工作介质,底盘材料用不锈钢.模拟后得到的单棒环隙结构的最适宜结果为竖直环隙挡板厚度1 mm,挡板宽度1 mm,挡板间距10 mm;水平环面挡板厚度1 mm,挡板宽度1 mm,挡板间距10 mm;换热效果较传统底盘提高32％,温度均匀性提高54％.

关键词：多晶硅、传热、数值模拟、还原炉

所属期刊栏目：32

分类号：TQO21.3

在线出版日期：2015-02-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：41-47