高纯六氟化钨的生产

摘要：

六氟化钨在电子工业中有着广阔的应用前景,论述了目前工业化生产高纯六氟化钨(WF6)的方法、六氟化钨的质量标准、分析检测方法和六氟化钨的发展前景.

关键词：六氟化钨、合成、纯化、分析

所属期刊栏目：25

分类号：TQ163.13

在线出版日期：2008-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：87-91