纳米晶TiO2半导体薄膜的制备和性能

摘要：

以钛酸丁酯为前驱液,聚乙二醇2000为模板剂,采用溶胶-凝胶模板法在温和的条件下合成了纳米晶TiO2薄膜,并对其晶相、颗粒大小和表面形貌等进行了表征.结果表明,所制备的TiO2薄膜表面完整,无明显的裂纹,颗粒分布均匀,粒径和膜厚度保持在纳米级.电学性能测试表明,纳米晶TiO2薄膜在350℃具有p-型半导体特性,p-型TiO2半导体纳晶薄膜在新型气体传感器开发领域有着潜在的应用前景.

关键词：纳米晶、氧化物半导体、PEG模板

所属期刊栏目：22

分类号：O644(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金29906006;天津市自然科学基金02306211

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-3,61