玻璃波导有效折射率的原位测量(特邀)

摘要：

飞秒激光直写玻璃波导是快速制备三维集成光子芯片的一种重要手段,波导有效折射率的准确测量对于设计光子器件意义重大.设计并制备了一种断臂马赫-曾德尔干涉仪(MZI)结构对玻璃波导有效折射率进行原位精密测量.激光在断线区域和波导内的有效折射率不同,在传输相同长度下产生一定的相位差,最终导致不同的干涉结果.对断臂MZI结构的相位干涉结果进行处理,得到激光直写玻璃波导的有效折射率为1.504+7.7×10-4.利用RSOFT软件光束传播算法对器件进行模拟仿真,仿真结果与实验吻合良好.该精确测量玻璃波导有效折射率的方法对于提升光子芯片设计与制造能力具有重要意义.

关键词：飞秒激光直写、马赫-曾德尔干涉仪、有效折射率、光波导

所属期刊栏目：51

分类号：TB96(计量学)

资助基金：中国博士后自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：51-58