X射线反射镜NiP芯模超精密车削技术研究

摘要：

以聚焦型X射线反射镜的镍磷合金芯模为研究对象,研究了单点金刚石超精密车削的切削深度、主轴转速、进给量等工艺参数对表面粗糙度的影响关系.结果表明,进给量对加工表面粗糙度影响相对最大,主轴转速、切削深度的影响呈弱相关关系.开展了 NiP合金超精密车削工艺试验,得到切削深度、主轴转速、进给量的优化工艺参数,并初步建立了表面粗糙度预测模型.在此基础上,对Φ110mm×140 mm的X射线反射镜镍磷合金芯模进行加工验证,获得了 PV61.37～83.47 nm、RMS7.952～10.326 nm、Ra6.379～8.332 nm的表面粗糙度,圆度误差0.39 μm、斜率误差均方根值0.42 μm,满足X射线反射镜对芯模超精密车削需求,为后续大规格X射线反射镜超精密制造奠定了技术基础.

关键词：X射线反射镜、芯模、超精密车削、镍磷合金、工艺参数

所属期刊栏目：51

分类号：TH161+1

资助基金：国家重点研发计划2017YFB0503300

在线出版日期：2022-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：370-376