基于刚体运动完备方程的光机热集成分析方法

摘要：

对于环境载荷恶劣、光学面变形复杂的光机系统,传统光机热集成分析方法的计算误差较大.提出了基于刚体运动完备方程的光机热集成分析方法,利用双立方样条插值法对光学面进行修正,然后建立光学面刚体运动完备方程,采用优化的求解方式分离光学镜面刚体运动,最后采用最小二乘方法求解Zernike多项式系数,实现对光学镜面弹性变形的表征.采用数值案例和工程案例验证了所提方法的有效性和正确性,定量分析了刚体运动方程、镜面修正方法、镜面点阵分布以及面形等关键因素对光机热分析结果的影响,结果表明,所提方法比传统方法更为精确地分离出光学面刚体运动和弹性变形量,且不依赖于光学面的解析方程,镜面变形的复杂程度对分析结果的影响较大.

关键词：光机热集成分析、热变形、Zernike拟合、光学镜面、刚体运动

所属期刊栏目：51

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2022-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共18页

页码：235-252