夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀)

摘要：

随着先进光学系统设计与制造的发展,大口径光学系统得到了广泛的应用.然而,大口径平面镜高精度面形的检测手段不足,限制了大口径平面镜的制造与应用.为实现大口径平面反射镜的高精度面形检测,提出一种夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜面形的方法.对扫描拼接原理、波前重构算法进行了研究,建立了微透镜阵列成像的数学模型,验证了夏克哈特曼扫描拼接检测原理的可行性.针对一 口径为150 mm的平面镜进行了扫描拼接检测实验,拼接得到的全口径面形为0.019λ RMS(λ=635 nm);与干涉检测结果对比,检测精度为0.008λ RMS,结果表明该方法能够实现大口径平面反射镜的高精度检测.

关键词：光学检测;平面镜;面形误差;扫描拼接;夏克哈特曼

所属期刊栏目：50

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：吉林省科技发展计划;中国科学院青年创新促进会;国家自然科学基金;国家自然科学基金面上项目

在线出版日期：2021-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：59-65