平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀)

摘要：

为了解决大口径平面反射镜高精度检测问题,建立了一种基于全局优化的子孔径拼接检测数学模型,同时提出了一种拼接因子用于重叠区域取值.基于上述方法,结合工程实例,对一口径为120 mm的平面反射镜完成拼接检测,检测中共规划了四个待测子孔径,为了对比文中所述算法与传统最小二乘拟合拼接算法的拼接性能,分别利用两种算法完成了待测平面镜的面形重构.实验结果表明,两种算法所得拼接结果光滑、连续、无"拼痕",同时分别将两种算法所得拼接结果与全口径检测结果进行了对比分析,从传统拼接算法残差图中可以看到明显的"拼痕",而加权拼接方法得到的拼接结果光滑、连续,同时其残差图的PV与RMS值分别为0.012λ与0.002λ,小于传统算法残差图的PV与RMS值,验证了算法的可靠性与精度.

关键词：光学检测;干涉测量;子孔径拼接;拼接因子

所属期刊栏目：50

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金;吉林省科技发展计划;广东省基础与应用基础研究基金

在线出版日期：2021-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：10-15