金属-无机半导体-金属光电探测器的研究进展

摘要：

金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PDs)本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注.文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述.首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两种类型.紧接着,介绍了MSM-PDs具体的工作原理,除了常见的光电导型及肖特基型工作原理,还介绍了以金属作为吸光层的热载流子光电探测器的工作原理.随后,详细介绍了以GaAs、InGaAs、Si/Ge等无机材料作为半导体层的MSM-PDs在过去所取得的研究进展.此外,还介绍了利用金属微纳结构拓展较宽带隙半导体材料MSM-PDs在红外波段响应特性的研究进展.最后,总结全文并对MSM-PDs未来的发展做出了展望.

关键词：金属-半导体-金属、光电探测器、肖特基、红外、金属微纳结构

所属期刊栏目：49

分类号：TN216(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;山西省自然科学基金;山西省青年拔尖人才,青年三晋学者;国家国际科技合作专项基金;山西省平台基地专项

在线出版日期：2020-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共19页

页码：221-239