超短脉冲激光微孔加工(下)——实验探索

摘要：

自20世纪60年代激光器被发明以来,其脉冲宽度被不断压缩至亚皮秒及飞秒量级,使得激光加工技术进入到了超短脉冲阶段.与其它加工技术相比,超短脉冲激光微孔加工突破了对尺度和材料的限制,并具有高精度和自动化等优点.主要论述了超短脉冲激光微孔加工的优势,如“冷”加工、突破衍射极限的低微米及纳米量级的加工等.介绍了超短脉冲激光微孔加工中的三个经典模型,包括孔径和阈值关系模型、多脉冲累积模型和单脉冲烧蚀深度模型.简述了超短脉冲激光微孔加工的实验研究现状,并给出了存在的问题和展望.

关键词：超短脉冲激光、微孔加工、经典模型、实验探索

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;长江学者;创新团队发展计划

在线出版日期：2019-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：118-129