超短脉冲激光微孔加工(上)——理论研究

摘要：

自20世纪60年代激光器被发明以来,其脉冲宽度被不断压缩至亚皮秒及飞秒量级,使得激光加工技术进入到了超短脉冲阶段.为了进一步优化超短脉冲激光的微加工,理论研究必不可少.主要论述了超短脉冲激光与不同类型材料之间的相互作用机制.简述了超短脉冲激光微孔加工中的典型物理特性,如等离子体效应、自聚焦和光丝效应及锥形辐射等.分析了超短脉冲激光微孔加工的理论研究现状,并得出了目前理论研究中存在的问题.

关键词：超短脉冲激光、微孔加工、机制、物理特性

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点研发计划;长江学者;创新团队发展计划

在线出版日期：2019-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：129-137