一维纳米定位控制系统

摘要：

研制了一套以数字信号处理(DSP)芯片为控制器的一维纳米定位控制系统.该系统主要由驱动平台、微型迈克尔逊干涉仪、DSP控制器等三个模块组成.其中驱动平台模块由线性滑轨、超声波马达HR4和驱动器AB2组成.HR4配合其专用驱动器AB2利用摩擦力来驱动侧面贴有陶瓷片的线性滑轨,微型迈克尔逊干涉仪用来感测滑轨的位移.基于BP神经网络的PID控制算法和迈克尔逊干涉仪的信号处理运算全部由DSP控制器完成.实验结果表明,该定位系统行程为20 mm,定位精度优于10 nm,重复定位标准偏差为7 nm.该定位系统具有系统架构简单,定位精度高等优点,可用于大行程高精度定位应用场合.

关键词：定位控制系统、DSP芯片、迈克尔逊干涉仪、BP神经网络

所属期刊栏目：47

分类号：TM930.2

资助基金：国家自然科学基金51675157

在线出版日期：2018-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：327-332