离焦量对激光超声测厚信号影响的理论和实验研究

摘要：

搭建了一套金属厚度测量系统,其中激光器用于激励产生超声波,激光干涉仪和压电换能器分别用于接收激励产生的超声纵波信号.根据激光超声产生的机理,建立了纵波声束指向性模型,确定了影响声束指向性的因素,并分别给出了激光垂直入射下干涉仪和压电换能器接收超声波幅值的公式;实验研究了离焦量对测厚信号的影响,发现等量激光脉冲激励下,随着离焦量的增加会出现先增大后减小最后消失的现象,与理论计算结果相吻合,证实了该研究结果的有效性.

关键词：离焦量、激光超声、测厚、激光干涉仪、压电换能器

所属期刊栏目：46

分类号：TN958.98

资助基金：山东省自然科学基金ZR2016FB26;山东省重点研发计划科技攻关部分2016GGX101026;山东省重点研发计划项目创新型产业集群专项计划2016ZDJQ0401;山东省重点研发计划公益类专项2017GGX201005

在线出版日期：2018-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-12