近红外大数值孔径平场显微物镜设计

摘要：

为满足飞秒激光微纳加工系统对高加工精度和大加工范围的需求,首先确定了该系统的重要组成部分-无限共轭距显微物镜所需具备的特性及设计指标.依据薄透镜组的初级像差理论,针对飞秒激光波长推导出光学系统为校正匹兹凡场曲和二级光谱所需满足的条件.该镜头由11片球面透镜构成,所选用材料皆为国产玻璃,同时避免三胶合结构的使用.设计了一套工作波长为785~815 nm,数值孔径为0.9,像方视场为22.5 mm,放大倍率为40×的近红外平场复消色差显微物镜.设计结果表明:该镜头的MTF良好,全视场波像差均小于0.08,各种几何像差均远小于公差且满足平场和复消色差条件,能量集中度高.使用补偿器放松材料公差、加工公差和装调公差,公差分配后全视场RMS波像差小于0.09,满足实际应用要求.

关键词：光学设计、显微物镜、平场、飞秒激光、微纳加工

所属期刊栏目：46

分类号：TH703;TN202(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金61435005

在线出版日期：2017-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：180-186