光学显微三维测量解耦合准则

摘要：

光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理误差的现象.采用卷积不相关原则和有限能量损失原则,分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三维测量的解耦合模型,揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系.与现有W/3准则相比,光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影响,指示高度测量解耦合评定的示值区域,预见高度测量原理误差产生,为沟槽或台阶样品三维结构表征提供了一种新的计量评定准则.

关键词：解耦合准则、光学显微测量、薄样品测量、深沟槽测量、台阶高度

所属期刊栏目：46

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发项目2011YQ040087;国防工业基础研究项目2013xe0873;国家自然科学基金51275121

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7