质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器制备

摘要：

在光子晶体垂直腔面发射激光器中采用质子注入工艺，使台面工艺变成纯平面工艺，降低了光子晶体结构制备难度，简化了器件制备，提高了器件的均匀性。质子注入型光子晶体垂直腔面发射激光器中的光子晶体结构，在电流限制孔小于光子晶体缺陷孔时，仍能控制器件光束及模式特性，该结果可用于优化器件阈值电流，制备高性能低阈值电流基横模器件。实验所设计制备的器件，在注入电流小于12.5 mA时，阈值电流2.1 mA，出光功率大于1 mW，远场发射角小于7°，有效验证了光子晶体结构在质子注入型面发射激光器中的光束改善及模式控制作用。

关键词：质子注入、光子晶体、垂直腔面发射激光器

所属期刊栏目：45

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61376049，61076044，61107026，61204011；北京市自然科学基金4132006，4102003，4112006；高等学校博士学科点专项科研基金20121103110018；北京市教委创新能力提升计划PXM2013014204000029

在线出版日期：2017-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1205001-1-1205001-5