化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究

摘要：

针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征，认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨颗粒直径的15~20倍。通过少子寿命表征和光导器件性能的对比测试，认为将该亚表面损伤层完全去除后，材料的少子寿命和器件的光电性能会得到明显的提高。

关键词：化学机械抛光、亚表面损伤、椭圆偏振、少子寿命、碲镉汞

所属期刊栏目：45

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金11304335

在线出版日期：2017-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1204001-1-1204001-5