近红外谱域显微干涉仪的位移传感特性研究

摘要：

为研究近红外谱域显微干涉仪在近红外波段的位移传感特性，分析了条纹载频对位移量提取的影响，建立了测量光谱中心波长与干涉仪位移传感范围之间关系公式，讨论了光源可见光分量对近红外光栅光谱仪所记录条纹的串扰现象并提出抑制方法。构建近红外迈克尔逊型谱域显微干涉实验系统，单次测量位移量传感精度优于0.02μm。测量标准台阶板的台阶高度(其标称值为7.732μm)，测量偏差为0.044μm。采用近红外谱域显微干涉装置，无需轴向扫描即可实现位移量测量，将光谱仪记录的谱域干涉信号转换为随波数线性变化信号处理能有效提高位移传感精度，增大中心波长能够有效提高位移传感范围，在系统中加入短波截止滤光片则能有效抑制可见光分量对近红外光谱域条纹造成的串扰。

关键词：测量、干涉测量、位移量传感、近红外、谱域分析

所属期刊栏目：45

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金U1231111；国家自然科学基金青年基金61505082；江苏省自然科学基金SBK2015041354

在线出版日期：2016-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：1017002-1-1017002-7