杂质微粒对薄膜的损伤效应

摘要：

激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究：首先对损伤形貌进行了观测，在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明：杂质粒子对薄膜产生的各种效应，主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏效应，这三种效应的共同作用效果决定了损伤的特点。这些作用效应与粒子的半径密切相关：当粒子较小时，激光的沉积量较少，引起邻近材料的温升较低，扩散范围较小，主要是熔化破坏；当粒子较大时，激光沉积量较多，会引起邻近光学材料的汽化和电离，形成激光等离子体而造成大的烧蚀坑。

关键词：光学薄膜、杂质粒子、热力学效应、激光等离子体

所属期刊栏目：45

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61403123；郑州市科技局民生科技进步工程131PZDGC136

在线出版日期：2016-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：0721004-1-0721004-6