基底均匀掺杂下EBAPS电荷收集效率的模拟研究

摘要：

对P型基底均匀掺杂的情况下电子轰击有源像素传感器(EBAPS)的电荷收集效率进行了理论模拟研究,依据低能电子与固体的相互作用模型结合Monte-Carlo计算方法模拟了光电子入射到死层和倍增层中的运动轨迹,并分析了经过死层后的能量损失率所受影响因素;依据半导体理论研究了P型基底掺杂浓度、膜厚、入射电子能量对电荷收集效率的影响因素.最终获得的电荷收集效率理论模拟结果与已报道的(4 keV,均匀掺杂的EPAPS)实测的结果较为相符,表明此文的模拟结果可以为高增益的EBAPS的制作提供理论指导.

关键词：电子轰击有源像素传感器、能量损失率、电荷收集效率、死层

所属期刊栏目：45

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20112216120008;吉林省科技厅重大科技攻关项目2014020318GX

在线出版日期：2016-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-52