双光楔微扫描哈特曼-夏克波前探测技术

摘要：

传统哈特曼-夏克传感器主要受微透镜尺寸与微透镜数量的限制,对待测波前采样不足,影响对波前的探测精度.通过对哈特曼-夏克传感器波前重构原理和双光楔微扫描原理进行分析讨论,提出了一种在哈特曼-夏克传感器之前加入双光楔微扫描结构的检测方法,弥补了传统哈特曼-夏克传感器对待测波前采样不足的缺点.利用Zemax和Lighttools软件模拟了加入双光楔微扫描结构哈特曼-夏克传感器的光斑分布情况.微扫描图像重建算法与波前重构算法结合给出原理性验证,对所模拟后大像差光学系统波前复原精度提高了53.53％,该方法可以有效提高哈特曼-夏克传感器对波前探测的精度.

关键词：哈特曼-夏克传感器、微扫描、波前重构、检测精度

所属期刊栏目：44

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61108044

在线出版日期：2015-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2813-2818