非零位补偿检验非球面技术

摘要：

为了无需定制补偿透镜或者计算全息等就能实现对非球面光学元件的检测,提出了非零位补偿测试非球面的方法.对非零位补偿检验非球面中的部分补偿法、数字样板法和子孔径拼接法的基本原理和基础理论分别进行了分析和研究,建立了合理的数学模型,并对其具体的实现步骤和测试流程进行了分析和规划.结合工程实例,分别利用数字样板法和子孔径拼接法对一口径为350 mm的浅度非球面进行了面形检测,两种方法面形的PV值和RMS值的偏差分别为0.015λ和0.002λ(λ=632.8 nm),并设计和组建了部分补偿检验装置对一高精度凸双曲非球面反射镜进行了测量,其面形的PV值和RMS值分别为0.183λ和0.018λ.

关键词：光学检测、非球面、部分补偿、子孔径拼接干涉计测、数字样板法

所属期刊栏目：44

分类号：TQ171.65

资助基金：国家863基金O8663NJ090;国家973基金2011CB0132005;国家自然科学基金61036015

在线出版日期：2015-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2702-2709