基于Nd：YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统

摘要：

压电陶瓷在精密控制中具有重要作用，而其在快速控制中的实际高频响应却缺少有效且精密的方法。总结了目前测量压电陶瓷特性的方法，分析了测量中存在的困难和不足，使用基于激光回馈干涉原理的Nd：YAG微片激光回馈干涉测量系统对压电陶瓷的动态特性进行了研究。使用两种压电陶瓷在100 Hz~7 kHz驱动电压下对位移响应进行了测量，相应测量位移范围7~34 nm。测量精度达到纳米量级，对较高的振动频率实现了准确测量。该方法具有很高的测量精度，对被测对象要求较低。

关键词：Nd:YAG、激光回馈、压电陶瓷

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60827006

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3434-3438