利用三坐标测量仪拼接检测大口径非球面面形

摘要：

为了利用三坐标测量仪实现对大口径非球面面形的检测，提出了大口径非球面面形三坐标拼接测试方法。对该方法的基本原理与具体的实现流程进行了分析和研究，并基于初级像差理论和最小二乘拟合建立了三坐标拼接检验大口径非球面综合优化数学模型。结合实例，对一口径为1200 mm×434 mm的长条形SiC离轴非球面反射镜进行了两个子孔径的三坐标拼接检测，并将拼接测试结果与非球面全口径轮廓检测结果进行了比对，其PV值和RMS值的偏差分别仅为0.073μm和0.042μm；两种方法面形残差的PV值和RMS值分别为0.325μm和0.055μm。

关键词：面形检测、大口径非球面、三坐标测量仪、子孔径拼接测试

分类号：O439;O436.1(光学)

资助基金：国家863计划O8663NJ090；国家973计划2011CB0132005；国家自然科学基金重点项目61036015

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：3410-3415