一种新结构介观压光型微加速度计

摘要：

对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明，在实际应用范围内，透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。据此，设计一种能实现微梁直拉直压的加速度计，微梁很小很敏感，处于轴向直拉直压位置时，能极大提高结构的灵敏度和自由振动频率。以镜像异质三光子晶体替代以往的压敏电阻，只需检测其透射率，即可得出加速度大小。最后结果表明：当透射光强改变1?时，该结构可以感知小于0.4 mgn的加速度的变化，测量量程可达3.2 gn。

关键词：光子晶体、透射率、加速度计、直拉直压、灵敏度

分类号：V241.4(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：国家自然科学基金60776062，50730009；国家自然科学基金仪器专项基金61127015

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3363-3367