离轴非球面镜检测中坐标系偏差对参数拟合的影响

摘要：

光学装调前精确测量离轴非球面元件的顶点半径等参数是保证装调质量的关键。离轴非球面测量中，得到非球面坐标数据后，为了提高参数拟合的准确度，分析了测量坐标系偏差的影响。为了消除该偏差，提出了数据拟合模型和处理方法，并给出了详细的参数拟合的步骤。与直接拟合相比，该方法得到的误差平方和、均方根误差更小，决定系数更接近1，验证了拟合模型及处理方法的有效性。该方法适用于所有离轴非球面镜检测时坐标系的偏差分析和参数的拟合处理。

关键词：光学检测、离轴非球面、坐标系误差、参数拟合

分类号：O439;TH171.65(光学)

资助基金：国家863高技术研究发展计划863-2-5-1-13B；吉林省科技发展计划201000526

在线出版日期：2013-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2800-2804