可见光移相点衍射干涉仪的测试误差分析

摘要：

为了实现对极紫外光刻投影物镜非球面反射镜的超高精度检测,引入了可见光移相点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并采用自行设计的十三步移相算法和传统五步移相算法对可见光移相点衍射干涉仪的测试误差进行了详细的理论分析及仿真计算,分析结果证明了十三步算法优越性的同时,也给出了要实现干涉仪的超高检测精度应该限定的测试组件的性能参数.为了验证可见光移相点衍射干涉仪及十三步算法的切实可行性,搭建了原理实验装置,通过40次重复测量取平均值的方法获得被检元件面形.实验结果表明;十三步算法和五步算法的结果相近,但十三步算法的重复性优于五步算法.采用十三步算法,在所构建的实验装置上实现了RMS值优于λ/10000(λ=632.8 nm)的检测重复性.

关键词：误差分析、十三步移相算法、移相点衍射干涉仪、光学检测

所属期刊栏目：41

分类号：O436.1(光学)

资助基金：应用光学国家重点实验室资助项目09Q03FQ090

在线出版日期：2012-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1351-1356