非制冷红外焦平面阵列读出电路的BCB牺牲层接触平坦化

摘要：

研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计微桥阵列与读出电路的集成.利用该方法成功将2 μm的电路表面突起,平坦化为表面起伏56 nm的平面,可替代会给器件带来颗粒和损伤的化学机械抛光(CMP)技术.并在该平坦层上方成功进行了非晶硅敏感薄膜的沉积、微桥结构的图形化以及同时作为牺牲层的BCB的释放.通过实验研究了BCB膜层的厚度与转速、固化温度的关系,实验发现BCB的收缩率随温度小范围变化,约为30％.研究了BCB的等离子刻蚀特性,表明该材料适合用等离子刻蚀的方法进行接触孔的刻蚀和牺牲层释放.最后,利用BCB牺牲层接触平坦化技术成功地在读出电路(ROIC)芯片上制作了160x120面阵的非制冷红外焦平面阵列.

关键词：BCB、测辐射热计阵列、ROIC、平坦化、等离子刻蚀

所属期刊栏目：41

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：西安市科技局计划项目CXY1015-1;陕西省教育厅科研计划项目12JK0686;西安工业大学校长基金XAGDXJJ1002

在线出版日期：2012-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1163-1167