飞秒激光在宽带隙陶瓷表面的烧蚀特性

摘要：

采用飞秒激光微加工系统对宽带隙陶瓷材料SiC和Al2O3诱导微结构时的去除机理及烧蚀特性进行了研究.应用扫描电子显微镜、粗糙度轮廓仪、光学显微镜和能量色散谱仪等对烧蚀的微观形貌和化学组成进行了评价,得出加工SiC时强烧蚀和轻烧蚀的破坏阈值分别为0.61 J/cm2和0.13 J/cm2.同时获得了加工参数与烧蚀形貌之间的关系,发现材料的去除机理强烈依赖于入射激光的脉冲能量,并对二者的关联机制进行了分析.探讨了表面粗糙度和掺杂在材料中的不同元素对烧蚀结果的影响.从而为在难加工类宽带隙陶瓷材料表面加工高质量的微结构提供了有力的理论依据和技术支持.

关键词：飞秒激光、宽带隙、破坏阈值、微结构

所属期刊栏目：41

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：高档数控机床与基础制造装备科技重大专项2009ZX01001-151;新世纪优秀人才支持计划NCET-07-0246;中国博士后科学基金20090451006

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：387-392