液晶掩模的纳秒脉冲激光加工试验

摘要：

利用LCD作为加工掩模,采用波长为1064nm的纳秒脉冲激光进行液晶掩模加工试验研究.讨论了液晶掩模对激光的调制作用,并且通过试验研究了液晶掩模加工图形特点和液晶损伤的阈值,测得了液晶掩模损伤阈值.观察液晶掩模的加工形貌发现,图形线条呈现边缘没有烧蚀而内部发生烧蚀的现象,其原因是由于黑栅遮光引起的边框效应和黑色像素的光透射率较高.结果表明:液晶掩模能够通过调节光的透射率实现遮掩效果,激光能量对液晶掩模具有破坏作用,液晶掩模的激光损伤阈值约为2.5 J/cm2；激光能量密度在0.6-0.8 J/cm2之间时能够加工出完整的图形.

关键词：液晶掩模、光束调制、液晶掩模损伤阈值、边框效应

所属期刊栏目：40

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50975127;高校博士点专项科研基金20093227120006;中国博士后科研基金20080431072;江苏省博士后科研基金0801004C

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1940-1943