激光雷达测距系统中滤光片的制备

摘要：

针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜.用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法.所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题.该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境.

关键词：薄膜、窄带滤光膜、膜厚监控、相对灵敏度

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：吉林省科技发展计划资助项目20086012

在线出版日期：2011-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：853-856