采用微刀具的菲涅耳器件超精密制造方法

摘要：

菲涅耳器件是红外传感器等领域不可或缺的高性能光学元件.其高效和高精度的制造方法是目前研究的重点.文中借助单点金刚石切削技术实现菲涅耳器件加工,采用半圆头型刀具有效减小不可切削区域,并基于聚焦离子束微加工方法进行微刀具制备.对所提出方法的关键技术和制造工艺进行了详细论述.对不同应用领域的两类菲涅耳器件进行加工实验.并建立光学测试平台进行光学性能分析.实验结果表明:所提出的方法可满足菲涅耳器件的应用需求.

关键词：菲涅耳镜加工、超精密车削、微刀具

所属期刊栏目：39

分类号：TH162.1

资助基金：国家863高技术研究发展计划资助项目2009AA044305,2009AA044204;国家自然基金重大研究计划资助项目90923024,90923038

在线出版日期：2010-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：502-505