基于空间频域算法的白光干涉微位移测量法

摘要：

为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求,提高微位移器位移量的测量精度,在对传统的接触式干涉仪改造的基础上,采用空间频域算法计算出了白光干涉图零级条纹的中心位置,并根据零级条纹中心的移动量得到待测的微位移量.该方法能够测量连续和阶跃变化的位移量.实验以压电陶瓷微位移装置(PZT)为例,测试了其电压一位移曲线,测量重复性达到1 nm.结果表明,该方案稳定有效,不易受噪声和色散的影响,测量重复性好.

关键词：光干涉计量、微位移测量、空间频域算法、接触式干涉仪

所属期刊栏目：37

分类号：TB96(计量学)

资助基金：江苏省"六大人才高峰"资助项目06-E-030

在线出版日期：2008-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：874-877