ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究

摘要：

CVD ZnS是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料,文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑,由实验设计出HfO2,非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜问的过渡层,采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层,并采用划痕法研究了薄膜的显微结构对其与衬底间附着力的影响.结果表明,金刚石能够在HfO/非晶膜过渡层上形核、生长,得到优质的保护膜,同时过渡层也缓解了金刚石膜与ZnS衬底间由于热膨胀系数的较大差异而引起的膜层脱落问题,单面沉积过渡层的ZnS在2～12μm范围具有增透膜的作用.与A1N/非晶膜组成的过渡层相比,HfO2/非晶膜组成的过渡层具有更小的残余应力.在典型实验条件下,该过渡层与ZnS衬底附着性良好,研究发现薄膜的显微结构对附着力的大小有重要影响,形成细小致密的柱状纤维结构,有利于提高附着力.

关键词：过渡层、ZnS、金刚石膜、附着力

所属期刊栏目：37

分类号：TN213;O484.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科工委"十一五"资助项目

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：347-351